DYJ-12半导体检测显微镜采用无限远色差校正光学系统,具有大视野、成像质量高、功能扩展性强
(明场/斜照明/偏振光/DIC观察)、大平台等特点;同时配有长工作距半复消色差物镜和可快速和慢速移动
的大行程载物台,最大支持300mm晶圆及17英寸液晶面板的检查,含4、6、8、12英寸多种转盘,可
适用不同尺寸的晶圆检查、液晶基板或其它平面显示器及各种工业器件的检验。
产品特点
仰角可调观察筒:0-35°观察角度可调,适合不同身高的用户,降低了对工作环境的要求,让不同的
使用者都能找到最佳的观察角度,减轻了长时间工作带来的不适于疲劳,大幅度提高工作效率。
全新离合驱动式载物台:DYJ-12 采用离合式手柄,用户按下离合扳手就可灵活移动平台,无需长时间
捏紧手柄;按下离合按钮,取消快速移动,避免长时间操作出现手麻现象,并加快观察速度。DYJ12 引
入精密导轨传动机构,移动更轻更顺畅,产品更加稳定可靠。
防震支架结构设计: 工业检测级显微镜机身由六端支架支撑,低重心、高稳定性全金属机架,保证了
系统的抗震能力与成像稳定性。其前置低手位粗微调同轴调焦机构,内置 100-240V 宽电压变压器,
可适应不同地区的电网电压。底座内部设计有风循环散热系统,长时间使用也不会使机架过热
安全高速电动物镜转换器: 设有前进、后退两档切换模式,可快速、精确定位到所需要的观察倍率,
重复定位精度高,有效提升了转换器的使用寿命。
规格参数 | DYJ-12 | |||
光路系统 | 无限远色差校正光学系统 | ● | ||
观察方式 | 明场/暗场/偏光/DIC观察模式(选配) | O | ||
观察头 | 铰链三通观察筒,0-35°倾斜可调,瞳距范围:50mm~76mm | ● | ||
正像,视度调节±5°;两档分光比R:T=100:0或0:100 | ● | |||
目镜 | 高眼点大视野平场目镜WF10X(Φ25mm),视度可调,可带十字分划板 | ● | ||
无限远长距离明 暗场半复消 金相物镜 |
倍率 | 数值孔径(N.A.) | 工作距离(W.D.) | |
5×DIC | 0.15 | 13.50mm | ● | |
10×DIC | 0.3 | 9.00mm | ● | |
20×DIC | 0.4 | 8.50mm | ● | |
50× | 0.55 | 8.00mm | ● | |
100×(选配) | 0.8 | 2.80mm | O | |
放大倍数 | 50×-500× | ● | ||
物镜转轮 (DIC) |
手动物镜转盘//电动明暗场5孔转换器(带DIC插槽),物理 按钮和软件双控. |
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机架 | 反射式机架:前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精 度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置 100-240V宽电压系统。物镜和孔径光阑采用全新的电动控制系统,其 操作按键位于仪器正前方 |
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载物台 | 右手位14*12英寸三层机械移动平台,低手位X、Y方向同轴调节 | ● | ||
平台面积710mmX420mm,移动范围:356mmX305mm,带离合器手柄,可 用于全行程范围内的快速移动;反射配金属平台 |
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玻璃载物台板。(透/反射用) | ||||
明暗场装置 | 带明暗场观察切换装置与明暗场照明切换装置 | ● | ||
DIC微分干涉 | DIC微分干涉观察组件(选配) | O | ||
简易偏光装置 | φ30起偏镜插板(反射用)、360度旋转式检偏镜插板(反射用) | ● | ||
照明系统 | 柯拉照明系统,带视场光阑与孔径光阑,中心可调 | ● | ||
100-240V宽电压,12V/100W卤素灯,明暗场反射照明器 | ● | |||
12V/100W卤素灯(PHILIPS 7724) | ● | |||
数码成像系统 注解: ●为标 |
高质量0.5X CCD可调焦适配镜 | ● | ||
点应2000万制冷型进口芯片数字显微镜摄像机(芯片型号:Sony IMX183芯片大小:1”(13.056*8.755mm)像素大小:2.4*2.4 μm最大分 辨率:2000万像素帧速:5fps@5440*3648 10fps@4096*2160 15 fps@2736*1824 曝光时间:0.06ms-1hG光灵敏度:462mv with 1/30s/USB 3.0高速通讯,高分辨率、精准的色彩还原处理/Ultra-Fine颜色引擎,确保 颜色精准再现/双级半导体深度制冷 系统,低于环境温度50度以下,精准可控)) |
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专业的图像分析软件(专业的图像软件(图像采集/影像输入/相机控制/视频操 作/图像处理/图像测量/图像融合(景深扩展)/图像拼接/清晰度对焦因子/动态 图像灰度值定标(可保证拍摄图像明暗程度的一致性 配、○为可升级配件 和连贯性)/插件功能)) |
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可升级配件 | 目镜:10×(分划) | O |